Abschlussarbeit: 3D-Glasbearbeitung mit dem SLE-Prozess

In Kooperation mit dem Lehrstuhl für Lasertechnik LLT bietet das Fraunhofer-Institut für Lasertechnik ILT, Europas führendes Zentrum für Auftragsforschung und -entwicklung im Bereich Lasertechnik, die Möglichkeit einer Abschlussarbeit zum Thema: »Entstehung und Auswirkungen von Spannungen in N-BK7 bei der 3D-Glasbearbeitung mit dem SLE-Prozess«. Die Gruppe In-Volumen-Strukturierung & Lithographie befasst sich schwerpunktmäßig mit der Bearbeitung von verschiedensten Materialien, wie z.B. Metalle und Gläser, mit ultrakurz gepulster (UKP) Laserstrahlung, die eine Pulsdauer im Pikosekundenbereich aufweist. Mittels moderner Laserprozesse, wie dem Selektiven Laser-induzierten Ätzen (SLE), werden hochpräzise Glasbauteile für die Halbleiterindustrie, die Medizintechnik, die Optikindustrie oder die Quantentechnologie mit Detailabmessungen < 1 µm hergestellt. Eine der aktuellen Herausforderungen bestehen in der Erschließung neuer Materialien wie Borosilikatgläser, sowie der grundlegenden Wechselwirkungsmechanismen, die dem SLE-Prozess in diesen Materialien zu Grunde liegen. Hier sorgst Du für Veränderung Ziel ist die Untersuchung und das Verständnis der Auswirkung unterschiedlicher Laserparameter auf die Oberflächenbeschaffenheit von 2D- sowie 3D-Strukturen bei dem Borosilikat-Kronglas N-BK7 Dazu untersuchst und analysierst Du die bekannten Prozessfenster bei variierenden Prozessparametern Anschließend analysierst Du die Oberflächenbeschaffenheit mit unserem Laserscanningmikroskop und Weißlichtinterferometer Außerdem betrachtest Du die eingebrachten Energien und Spannungen mittels einer Ulbricht-Kugel und Polarisationskontrastmikroskopie Je nach Fachrichtung und Vorkenntnissen können die Resultate auch mit theoretischen Simulationen verglichen werden